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电子无尘烤箱,电子洁净烘箱

电子无尘烤箱,电子洁净烘箱

简要描述:

电子无尘烤箱,电子洁净烘箱
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。一般是芯片电路设计-晶圆的制造-晶圆的测试-晶圆的切割研磨-芯片的封装-成品芯片的测试。在整个工艺中晶圆烘烤工艺也很重要,且需要多次烘烤。

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电子无尘烤箱,电子洁净烘箱的应用:

   晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。一般是芯片电路设计-晶圆的制造-晶圆的测试-晶圆的切割研磨-芯片的封装-成品芯片的测试。在整个工艺中晶圆烘烤工艺也很重要,且需要多次烘烤。

电子无尘烤箱,电子洁净烘箱的组成:

烘烤工作室:需烘烤的产品放置区;

洁净室:高效过滤器净化工作室内空气,达到class100洁净度;

控制部分:温度•●、时间•●、记录•●、温度检测•●、烤箱开关等操作区;

电器箱:无尘烤箱电器部分,电子元件等安装区;

其他:氮气接口,排风阀门,扫码枪等。

电子无尘烤箱技术性能:

温度范围:RT+10~200•●、300/450℃;

升温速率:≥5℃/min(可定制);
温度均匀度:±1.5%℃;    

温度波动度:±0.5;        
温控精度:0.1℃;

时间设定范围:0.1S-9999H;

内腔数量:单腔,上下层双腔体,四腔体等;

腔内分层:2层或多层

 内箱材料:SUS304镜面不锈钢制作;

 外箱材料:优质冷轧板喷塑或#304镜面不锈钢制作;

密封材料:密封条采用硅胶胶条制作,可耐温不变形,;

保温材料;阻燃陶瓷纤维。

外壳温度:在 200℃以内,不高于室温+15℃,门周边接接缝处除外。  

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