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電子無塵烤箱,電子潔凈烘箱

電子無塵烤箱,電子潔凈烘箱

簡要描述:

電子無塵烤箱,電子潔凈烘箱
晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結構,而成為有特定電性功能之IC產品。一般是芯片電路設計-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。在整個工藝中晶圓烘烤工藝也很重要,且需要多次烘烤。

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電子無塵烤箱,電子潔凈烘箱的應用:

   晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結構,而成為有特定電性功能之IC產品。一般是芯片電路設計-晶圓的制造-晶圓的測試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測試。在整個工藝中晶圓烘烤工藝也很重要,且需要多次烘烤。

電子無塵烤箱,電子潔凈烘箱的組成:

烘烤工作室:需烘烤的產品放置區;

潔凈室:高效過濾器凈化工作室內空氣,達到class100潔凈度;

控制部分:溫度、時間、記錄、溫度檢測、烤箱開關等操作區;

電器箱:無塵烤箱電器部分,電子元件等安裝區;

其他:氮氣接口,排風閥門,掃碼槍等。

電子無塵烤箱技術性能:

溫度范圍:RT+10~200、300/450℃;

升溫速率:≥5℃/min(可定制);
溫度均勻度:±1.5%℃;    

溫度波動度:±0.5;        
溫控精度:0.1℃;

時間設定范圍:0.1S-9999H;

內腔數量:單腔,上下層雙腔體,四腔體等;

腔內分層:2層或多層

 內箱材料:SUS304鏡面不銹鋼制作;

 外箱材料:優質冷軋板噴塑或#304鏡面不銹鋼制作;

密封材料:密封條采用硅膠膠條制作,可耐溫不變形,;

保溫材料;阻燃陶瓷纖維。

外殼溫度:在 200℃以內,不高于室溫+15℃,門周邊接接縫處除外。  

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