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工业烘箱,工业无尘烘箱

工业烘箱,工业无尘烘箱

简要描述:

工业烘箱,工业无尘烘箱用于半导体制造中预处理烘烤•●、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤•●、IC封装•●、治具烘烤•●、光刻胶固化等;也适用于电子液晶显示•●、LCD•●、CMOS•●、IS•●、医药•●、实验室等生产及科研部门。

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工业无尘烘箱用途:

      用于半导体制造中预处理烘烤•●、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤•●、IC封装•●、治具烘烤•●、光刻胶固化等;也适用于电子液晶显示•●、LCD•●、CMOS•●、IS•●、医药•●、实验室等生产及科研部门。

工业烘箱,工业无尘烘箱特点:
1.烘箱内部等级达到Class 100•●、Class 1000
2.全周氩焊,防机台本身所产生微尘;
3.采水平或垂直送风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100
4.强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到z佳温度控制精度。

工业烘箱,工业无尘烘箱技术参数:

1.主要技术指标:
 内箱材质:优质304不锈钢;

外箱材质:冷轧板喷塑或不锈钢;

无尘等级:Class 100•●、1000     

温度范围:RT+10250℃•●、300
温度均匀度:±2℃;    

温度波动度:±0.5℃(空载)        
温控精度:±0.1℃;

进风口:φ6mmN2进气•●、流量控制;  

 

氮气烘箱

氮气烘箱技术参数:      

1. 内部尺寸:800*800*1000(mm)

2. 内箱分层:三层

3.  温度范围:RT+10℃~250℃。

4. 温度波动:<±1℃。

5. 温度均匀:±1%(空载测试)。

6.温控装置:高精度P.I.D智能温控仪表•●、P.I.D自动演算•●、时间定时。

7.内室材料:采用无磁性镜面不锈钢;外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE) 。

8.保温材料陶瓷纤维。

9.特质复合式SUS304#不锈钢电热产生器。

保护装置:超温保护器,无熔丝开关。

11. 进气/排气:
进气系统:数量1个,φ8mm

充气压力:0.01~0.02Mpa
流 量 计:氮气专用转子流量计
减 压 阀:进气端配有氮气减压阀,充气压力指针显示

排气系统:数量1个,φ50mm

 

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