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無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱

無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱

簡要描述:

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無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱技術參數:

用途

用于IC,晶圓等電子、半導體、醫療行業高潔凈度烘烤制程工藝

溫度范圍

室溫+10℃~250℃

溫度波動度

恒溫溫度波動±0.5℃

溫度均勻度

≤±2℃

工作室尺寸(mm)

450(深)*450(寬)*600(高)(可自定)

潔凈度

Class100

氣體過濾

配有氣體過濾裝置,保證腔體內潔凈度為100級

隔板要求

每個腔體配二個隔板,用不銹鋼板沖孔制成

箱體外壁材料

冷軋鋼板靜電噴塑(或SUS304)

箱體內壁材料

為不銹鋼板內壁氬弧焊(SUS316或SUS304)

保溫材料

優質超細納米玻璃棉

氮氣接口

能將箱內空氣排出,確保烘烤的硅片是在氮氣中進行

控制方式

人機界面+PLC控制

氮氣流量

0.3~0.5M3/H(可選擇具有流量偏低/偏高報警功能,并實時監控記錄曲線)

超溫保護

采用獨立的超溫保護裝置,確保溫度不超限;當保護裝置動作時,超溫保護裝置自動切斷加熱電源并進行聲光報警、控制儀采用LED顯示且可調

計時方式

溫度達到制程設定值后開始計時.

排風口

直徑114mm的排風口,且安裝有調節風閥

電氣安全保護

風機過載保護、加熱系統超溫保護、電磁門鎖保護、安全接地保護.

MES軟件

可連接MES系統

作業時掃碼可實現自動調取所需作業程序,作業員只需確認是否正確

自動記錄作業累計次數,作業批號,作業人員,作業起止日期及時間,作業溫度曲線,作業條件,可自動生成Excel報表

有權限操作員需掃碼后才可操作此設備,且自動記錄作業人員

 

無塵class100烘箱,MES接口無塵烘箱用途: 

   無塵烘箱用于IC生產過程中極為重要的光刻工藝中預烘烤(軟烘),脫水烘烤,涂膠后的堅膜烘烤(硬烘);也適用于電子液晶顯示、柔性面板、LCD、CMOS、OLED、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

 

 

 

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