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无氧化烤箱

无氧化烤箱

简要描述:

无氧化烤箱,高温无氧固化炉利用充氮气提供无氧化烘烤空间, 确保产品不氧化。适用于IC封装•●、晶圆烘烤•●、PI固化•●、BCB胶固化•●、ITO模具退火•●、镀膜制程等半导体行业,电子行业及各种产业应用。

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无氧化烤箱概述:

  利用充氮气提供无氧化烘烤空间, 确保产品不氧化。适用于IC封装•●、晶圆烘烤•●、PI固化•●、BCB胶固化•●、ITO模具退火•●、镀膜制程等半导体行业,电子行业及各种产业应用。

无氧化烤箱结构:

1.箱体结构:

内箱采用SUS304镜面不锈钢制作,以全周氩弧焊无缝处理;

外箱采用SUS304不锈钢或优质冷轧板静电喷塑处理;

外箱保温材质採用高级超细保温棉,六面保温断热,机台表面温度低。

2.气体系统:

马达轴心以特殊轴封密闭,气密性佳,含氧量可低至50PPM以上;

箱体内装有氧含量分析仪,全称检测氧含量;

排气口采用自动风门设计以达到强烈的循环效果及快速降温,进气口加附N2流量计控制进气量。

3.热风循环系统:

特殊节约能源高效率送风结构;

采用不锈钢覆套式无尘无氧化电热发生器;

箱体后部装有离心循环风机•●、氮气进气口和排气口,离心风机将箱内加热的热风与进气口的新鲜氮气混合,一部分气体混合烘干处理产生的废气物从排气口排出,大部分气体进入箱体两侧的循环风道,携带加热器产生的热量,进入箱体内对产品进行加热烘烤,然后由离心风机重新吸回,从而往返循环。

4.降温系统:

 风冷或水冷却循环系统。

5.温控系统:

 采用高精度温度控制器,内置斜率设定•●、PID自整定•●、高温上限报警•●、热电偶失效指示等多种功能。

 

  

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