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無氧化烤箱

無氧化烤箱

簡要描述:

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無氧化烤箱概述:

  利用充氮氣提供無氧化烘烤空間, 確保產品不氧化。適用于IC封裝、晶圓烘烤、PI固化、BCB膠固化、ITO模具退火、鍍膜制程等半導體行業,電子行業及各種產業應用。

無氧化烤箱結構:

1.箱體結構:

內箱采用SUS304鏡面不銹鋼制作,以全周氬弧焊無縫處理;

外箱采用SUS304不銹鋼或優質冷軋板靜電噴塑處理;

外箱保溫材質採用高級超細保溫棉,六面保溫斷熱,機臺表面溫度低。

2.氣體系統:

馬達軸心以特殊軸封密閉,氣密性佳,含氧量可低至50PPM以上;

箱體內裝有氧含量分析儀,全稱檢測氧含量;

排氣口采用自動風門設計以達到強烈的循環效果及快速降溫,進氣口加附N2流量計控制進氣量。

3.熱風循環系統:

特殊節約能源高效率送風結構;

采用不銹鋼覆套式無塵無氧化電熱發生器;

箱體后部裝有離心循環風機、氮氣進氣口和排氣口,離心風機將箱內加熱的熱風與進氣口的新鮮氮氣混合,一部分氣體混合烘干處理產生的廢氣物從排氣口排出,大部分氣體進入箱體兩側的循環風道,攜帶加熱器產生的熱量,進入箱體內對產品進行加熱烘烤,然后由離心風機重新吸回,從而往返循環。

4.降溫系統:

 風冷或水冷卻循環系統。

5.溫控系統:

 采用高精度溫度控制器,內置斜率設定、PID自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多種功能。

 

  

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