安卓手赚网

產品中心您的位置:網站首頁 > 產品中心 > 半導體烘烤設備 > 固化烤箱 > ITO無氧化烤箱,防氧化退火爐
ITO無氧化烤箱,防氧化退火爐

ITO無氧化烤箱,防氧化退火爐

簡要描述:

ITOWUYANGHUAKAOXIANG,FANGYANGHUATUIHUOLUBOMODIANDAOLVSUITUIHUOWENDUDESHANGSHENGCHENGXIANSHANGSHENGHOUXIAJIANGDEBIANHUA。SHANGSHENGJIEDUAN,ZAILIUZINONGDUHEQIANYILVGONGTONGYINGXIANGDIANDAOLV;XIAJIANGJIEDUAN,QIANYILVDEJIANGDIDUIDIANDAOLVDEJIANXIAOQIDAOZHUYAOZUOYONG。

打印當前頁

免費咨詢:86-021-60649603

發郵件給我們:junsish@163.com

分享到:

ITO無氧化烤箱,防氧化退火爐簡介:

  ITO薄膜是一種n型半導體材料,具有高的導電率、高的可見光透過率、高的機械硬度和良好的化學穩定性。ITO制備工藝中退火是非常重要的工藝步驟,對烤箱的溫度、含氧量都有明確的要求。

ITO無氧化烤箱,防氧化退火爐的必要性:

1、在ITO中,Sn是以替位參雜的方式,取代In出現在In2O3晶格中,形成氧化銦錫置換固溶體隨著退火溫度的升高,峰強增強,ITO晶粒擇優生長,晶粒尺寸隨溫度的上升而變大。

2、隨著退火溫度的升高,ITO薄膜的微觀結構得到改善,表面形貌均一穩定,但當退火溫度超過某一界限時,ITO顆粒大小不一,形狀各異,小顆粒團聚現象嚴重,薄膜的表面形貌遭到破壞。

3、薄膜電導率隨退火溫度的上升呈先上升后下降的變化。上升階段,載流子濃度和遷移率共同影響電導率;下降階段,遷移率的降低對電導率的減小起到主要作用。

ITO無氧化烤箱技術指標:                    

內腔尺寸:W600mm×D600mm×H600mm(可定做)

材質:SUS304不銹鋼
溫度范圍:RT+10-450℃,使用溫度≤400℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動度:<±0.5℃
溫度均勻度:≤±1.5%
潔凈度:class 100,設備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環境
電源及總功率:AC 380V±10% / 50HZ       總功率約21.0KW    
升溫速度:8℃/min,(空箱測試)可自定義
降溫速度:約3℃/min(空箱測試)可自定義
氧含量分析儀:≤ 100ppm 
   

上一篇 : 氮氣柜    下一篇 :  無氧化烤箱
COPYRIGHT @ 2016 網站地圖       

上海雋思實驗儀器有限公司主要經營優質的ITO無氧化烤箱,防氧化退火爐等,歡迎來電咨詢ITO無氧化烤箱,防氧化退火爐詳細資料等信息
地址:上海奉賢柘林工業區3213號
开心生肖 贵州11选5开奖结果 福建11选5走势图 广东11选5开奖结果 湖北11选5开奖结果 正规捕鱼游戏 正规捕鱼游戏 万丰国际赌场