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熱板,高精度加熱平臺

熱板,高精度加熱平臺

簡要描述:

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熱板,高精度加熱平臺概述簡介:
    加熱板采用鋁板作為工作表面,其內置不銹鋼加熱棒,導熱性能好,升溫快,采用專用PID調節儀控溫,可以精確控制平臺的加熱溫度.適用于半導體光刻工藝的前烘和堅膜、電路模塊的涂敷燒結和考核等工藝。
熱板,高精度加熱平臺
主要技術參數:
?整機尺寸:330mm×830mmX300mm
?加熱板及尺寸:鋁板,300mm×800mmX50mm
?加熱方式:內熱式不銹鋼加熱棒
?溫度范圍:室溫~250℃
?控溫精度:±1℃
?溫度均勻性:±2℃
?功率:6000W
?電源電壓:三相380V 50HZ
?計時范圍:1s~99.99h

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