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HMDS涂胶烤箱,MES接口hmds涂布机

HMDS涂胶烤箱,MES接口hmds涂布机

简要描述:

HMDS涂胶烤箱,MES接口hmds涂布机的主要作用是对晶圆做表面处理,以增加光阻在晶圆表面的附着力。当晶圆送到黄光区时,表面可能有含水层,高温烘烤后去除水气,同时经过HMDS制程改变晶圆表面从极性到非极性,将晶圆表面的表面能被调整到与光阻表面相当的程度,从而使光阻可以很好的附着在晶圆表面。

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HMDS涂胶烤箱,MES接口hmds涂布机简介:

      HMDS涂胶烤箱的主要作用是对晶圆做表面处理,以增加光阻在晶圆表面的附着力。当晶圆送到黄光区时,表面可能有含水层,高温烘烤后去除水气,同时经过HMDS制程改变晶圆表面从极性到非极性,将晶圆表面的表面能被调整到与光阻表面相当的程度,从而使光阻可以很好的附着在晶圆表面。

       首先加热到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS与表面的OH一反应,在硅片表而生成硅醚,消除氢键作,从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。

HMDS涂胶烤箱,MES接口hmds涂布机特点:

1.HMDS是气相涂布在硅片表面,也就是硅片在高温环境HMDS的蒸汽中放置;

2.在显影过程中无需去除硅片表面的HMDS层;

3.在HMDS上面滴光刻胶甩涂时,光刻胶内的溶剂不会破坏HMDS层;

4.多余的HMDS蒸汽(尾气)将由真空泵抽出,排放到专用废气收集管道;

5.所有制程都在密闭的腔体内完成,操做是不会接触到HMDS蒸汽;

6.可保存多个产品制程,制程工艺一键完成,无需值守人员。

HMDS涂胶烤箱技术指标:

1.设备型号:    JS-HMDS90                                                          
2.工作室尺寸(mm): 450×450×450,650*650*650,800*800*800,1200*1000*1200 可自定
3 外形尺寸:  根据内腔尺寸变化
4. 材质:外箱采用优质冷轧板喷塑或不锈钢,内箱采用316L医用级不锈钢
5. 温度范围 :RT+10-250℃ 
6. 温度分辨率 :0.1℃
7. 温度波动度: ≤±0.5
8. 真空度: ≤133pa(1torr)
9. 洁净度 :class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境
10.电源及总功率  :  AC 220V±10% / 50HZ       总功率约3.0KW    
11. 重量: 约180KG
12. 控制仪表 :人机界面
13.搁板层数 :2层
14. HMDS控制 :可控制HMDS药夜添加量
15.真空泵:旋片式油泵或干泵
16. 保护装置    HMDS药液泄漏报警装置,HMDS自动添加,超温保护,漏电保护,过热保护等

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