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HMDS涂布机,HMDS涂胶烤箱

HMDS涂布机,HMDS涂胶烤箱

简要描述:

HMDS涂布机,HMDS涂胶烤箱用于光刻工艺中基板疏水化处理, HMDS 涂布的原理,最常用的黏附剂是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻胶的黏附性工艺中,实际上六甲基二硅烷并不是作为粘结剂所产生作用的,而是HMDS 改变了 SiO2 的界面结构,从而使晶圆的性质由亲水性表面转变为疏水性表面。

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HMDS涂布机,HMDS涂胶烤箱原理:

   HMDS涂胶烤箱用于光刻工艺中基板疏水化处理, HMDS 涂布的原理,最常用的黏附剂是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻胶的黏附性工艺中,实际上六甲基二硅烷并不是作为粘结剂所产生作用的,而是HMDS 改变了 SiO2 的界面结构,从而使晶圆的性质由亲水性表面转变为疏水性表面。

   光刻胶与晶圆表面之间的黏附性问题,除了受到分子键合的影响,还受到其他重要因素的影响。如表面的水分就是其中的主要因素,会减少黏附性,从而造成掀胶和侧向腐蚀。HMDS 涂布是涂胶前对硅片表面进行处理,可以增加硅片表面水分子的接触角,使硅片表面从亲水性转化为疏水性。

   HMDS 涂布机采用蒸汽涂布的方式。简单评价晶圆的表面黏附性好坏,可以将晶圆进行 HMDS 涂布,然后在晶圆的表面滴一滴水珠,然后通过测量水珠的接触角,来进行晶圆表面黏附性好坏的判断。接触角的测量方法如下图所示,当接触角角度越大,说明黏附性越好,也就意味着疏水性越强。

HMDS涂布机,HMDS涂胶烤箱技术参数:

 

项目

隽思JS-HMDS90-AI

内胆大小 

450*450*450(可选数据)

cycle run(4寸产品)

200

温度范围 

室温+10-250 

HMDS加热功能 

 

HMDS流量控制 

时间/调压阀,无flow meter

尾气排放 

 

温度精度 

分辨率:0.1 波动度:±1℃

真空泵 

油泵或爱德华干泵,133PA  

载物托架 

两层 

温度控制 

微电脑智能控温仪 

Recipe设定 

人机交互界面,PLC编程 

N2循环 

真空/N2 循环 

HMDS系统 

自动添加•●、自动吸取•●、添加量控制

保护装置 

紧急停止,跳电保护,超温保护

其他

耐高温手套,说明书

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