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HMDS涂布機,HMDS涂膠烤箱

HMDS涂布機,HMDS涂膠烤箱

簡要描述:

HMDSTUBUJI,HMDSTUJIAOKAOXIANGYONGYUGUANGKEGONGYIZHONGJIBANSHUSHUIHUACHULI, HMDS TUBUDEYUANLI,JIAOCHANGYONGDENIANFUJISHILIUJIAJIERGUIANWAN(HMDS)。ZAITISHENGGUANGKEJIAODENIANFUXINGGONGYIZHONG,SHIJISHANGLIUJIAJIERGUIWANBINGBUSHIZUOWEIZHANJIEJISUOCHANSHENGZUOYONGDE,ERSHIHMDS GAIBIANLE SiO2 DEJIEMIANJIEGOU,CONGERSHIJINGYUANDEXINGZHIYOUQINSHUIXINGBIAOMIANZHUANBIANWEISHUSHUIXINGBIAOMIAN。

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HMDS涂布機,HMDS涂膠烤箱原理:

   HMDS涂膠烤箱用于光刻工藝中基板疏水化處理, HMDS 涂布的原理,最常用的黏附劑是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻膠的黏附性工藝中,實際上六甲基二硅烷并不是作為粘結劑所產生作用的,而是HMDS 改變了 SiO2 的界面結構,從而使晶圓的性質由親水性表面轉變為疏水性表面。

   光刻膠與晶圓表面之間的黏附性問題,除了受到分子鍵合的影響,還受到其他重要因素的影響。如表面的水分就是其中的主要因素,會減少黏附性,從而造成掀膠和側向腐蝕。HMDS 涂布是涂膠前對硅片表面進行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使硅片表面從親水性轉化為疏水性。

   HMDS 涂布機采用蒸汽涂布的方式。簡單評價晶圓的表面黏附性好壞,可以將晶圓進行 HMDS 涂布,然后在晶圓的表面滴一滴水珠,然后通過測量水珠的接觸角,來進行晶圓表面黏附性好壞的判斷。接觸角的測量方法如下圖所示,當接觸角角度越大,說明黏附性越好,也就意味著疏水性越強。

HMDS涂布機,HMDS涂膠烤箱技術參數:

 

項目

雋思JS-HMDS90-AI

內膽大小 

450*450*450(可選數據)

cycle run(4寸產品)

200

溫度范圍 

室溫+10-250 

HMDS加熱功能 

 

HMDS流量控制 

時間/調壓閥,無flow meter

尾氣排放 

 

溫度精度 

分辨率:0.1 波動度:±1℃

真空泵 

油泵或愛德華干泵133PA  

載物托架 

兩層 

溫度控制 

微電腦智能控溫儀 

Recipe設定 

人機交互界面,PLC編程 

N2循環 

真空/N2 循環 

HMDS系統 

自動添加、自動吸取、添加量控制

保護裝置 

緊急停止,跳電保護,超溫保護

其他

耐高溫手套,說明書

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