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无尘烤箱厂家

无尘烤箱厂家

简要描述:

无尘烤箱厂家无尘等级:Class 100•●、10; 温度范围:RT+10~300℃;用于半导体制造中硅片•●、砷化镓•●、铌酸锂•●、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤•●、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤

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无尘烤箱厂家

维护保养

1. 检查通风口是否堵塞,并清理积尘。

2. 风机运转是否正常。

3. 维修工检查电流是否正常。

4. 检查温控器是否准确,如不准确,请调整温控器的静态补偿或传感器修正值。

5. 检查发热管有无损坏,线路是否老化。

6. 检查延时器是否准确,误差是否允许。

。

无尘烤箱厂家应用

用于半导体制造中硅片•●、砷化镓•●、铌酸锂•●、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤•●、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示•●、LCD•●、CMOS•●、IS•●、医药•●、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥•●、热处理•●、老化等其他高温试验。

技术指标

无尘等级:Class 100•●、10;     

温度范围:RT+10~300℃;

温度均匀度:±2℃;    

温度波动度:±0.5℃(空载)        

温控精度:±0.1℃;        

工作室尺寸:W1600×D1600×H1000(mm)  (可定做)   

电源:380v , 50Hz,6KW    

网板:2块(高度可调节)

无尘等级:Class 100•●、10;     温度范围:RT+10~300℃;用于半导体制造中硅片•●、砷化镓•●、铌酸锂•●、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤•●、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤。

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