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无尘高温烘箱

无尘高温烘箱

简要描述:

无尘高温烘箱用于半导体制造中硅片•●、砷化镓•●、铌酸锂•●、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤•●、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示•●、LCD•●、LED•●、CMOS•●、IS•●、医药•●、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥•●、热处理•●、老化等其他高温试验。

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无尘高温烘箱

特点

1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100;
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采平面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100;
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。

无尘高温烘箱

技术参数

无尘等级:Class 100;     

温度范围:RT+10~200℃;

温度均匀度:±2℃;    

温度波动度:±0.5℃(空载)        

温控精度:±0.1℃;        

工作室尺寸:自定义(mm)         

电源:380v , 50Hz,   

网板:2块(高度可调节)

 

箱体结构:

1烘箱由箱体部分•●、电器控制柜•●、电加热及风道系统组装而成,结构合理,外观美观大方;

2全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;

3箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘;

4内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE;

5中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。

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