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無塵烘箱,無塵固化烤箱

無塵烘箱,無塵固化烤箱

簡要描述:

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無塵烘箱,無塵固化烤箱技術參數
1、 無塵等級:Class 100;     
2、 溫度均勻度:±2℃;    
3、 溫度波動度:±0.5℃(空載);        
4、 溫控精度:±0.1℃;
5、 溫度范圍:RT+10-200/300℃;
6、 升溫速率:≥8℃/min(可修改);
7、 內腔材質:SUS304#鏡面不銹鋼;
8、 外箱材質:優質冷軋板噴塑或SUS304#不銹鋼;
9、 密封條:耐高溫氟橡膠密封條;
10、氮氣裝置:可調式浮子流量計;
11、安全裝置:漏電保護,超溫保護,三色提示燈等。

無塵烘箱,無塵固化烤箱概述
       無塵烤箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝。也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
 

 

無氧化烤箱,高溫無氧化烤箱概述

無氧化烤箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,形成高溫、低氧(無氧)、潔凈環境,特別適合半導體制造、COB封裝、醫療衛生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求,廣泛應用于電子產品、五金制品、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等行業。

無氧化烤箱,高溫無氧化烤箱技術參數

Ø 內部尺寸:600*700*800mm(深*寬*高)

Ø 材質:外箱采用優質冷軋板噴塑,內箱采用SUS304不銹鋼

Ø 溫度范圍:RT+10-250℃

Ø 溫度分辨率:0.1℃

Ø 溫度波動度:<±1℃

Ø 溫度均勻度:≤±1.5%

Ø 升溫速率:5℃/min,(空箱測試)

Ø 降溫時間:可滿足180℃-60℃,降溫4℃/min(空箱測試)

Ø 電源:380V 50HZ ,6KW

Ø 計時功能:具有獨立的計時器,計時開關,計時報警器

Ø 氧含量

高溫狀態氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量

低溫狀態氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量

Ø 氮氣控制:流量計節氮系統,無氧、低氧環境下最大節省氮氣消耗量

Ø 鼓風裝置:采用大功率耐高溫長軸馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環境下長期穩定工作

Ø 氮氣凈化系統:微型油水塵埃過濾組mini fulter,可對氮氣油水、0.1μm顆粒進行過慮

 

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