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真空镀膜机,脱模剂烤箱

真空镀膜机,脱模剂烤箱

简要描述:

真空镀膜机,脱模剂烤箱应用于半导体•●、光电•●、电子行业,硅片•●、石英等纳米压印模板材料。

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真空镀膜机,脱模剂烤箱简介:
应用于半导体•●、光电•●、电子行业,硅片•●、石英等纳米压印模板材料。
真空镀膜机,脱模剂烤箱技术参数:
设备名称 :   脱模剂蒸镀机
设备型号:  JS-TMJ30                                                          
腔体尺寸:350×350×350•●、450×450×450(mm)或自定
材质: 优质SUS#304不锈钢
温度范围: RT+10-150℃ 
温度分辨率: 0.1℃
温度波动度: ≤±0.5
真空度: ≤133pa(1torr)
洁净度: class 100
电源及总功率: AC 220V±10% / 50HZ      2.5KW    
控制仪表:人机界面
真空泵: 无油泵
真空镀膜机安装条件:      
环境温•●、湿度5℃~+35℃,相对湿度:≤85%;
周围无强烈震动;    
无阳光直接照射或其它热源直接辐射;
周围无强烈电磁场影响;
周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质;
百级洁净车间;
周围无强烈气流,当周围空气需要强制流动时,气流不应在直接吹到箱体上;
设备应放在坚固平稳的平面上,并使其保持水平状态;
 安装设备使用空开电源 ;

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